隆基绿能取得一种镀膜载板及镀膜系统专利，有助于提升镀膜质量
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2024-03-15 03:31:46
金融界2024年3月14日消息，据国家知识产权局公告，隆基绿能科技股份有限公司取得一项名为“一种镀膜载板及镀膜系统“，授权公告号CN220579367U，申请日期为2023年8月。
专利摘要显示，本申请公开了一种镀膜载板及镀膜系统，镀膜载板包括：载板本体，载板本体中设有用于存储水的容纳槽；盖板，盖板封盖于容纳槽的槽口处；导气组件，导气组件设于盖板上，导气组件与容纳槽连通，容纳槽内的水气化产生的水蒸气经由导气组件排出，导气组件用于调节容纳槽排出的水蒸气的流量。通过镀膜载板承载工件进入镀膜设备中进行镀膜操作时，容纳槽内的水可以持续气化产生水蒸气，水蒸气经由导气组件通入镀膜设备的镀膜腔内，从而能够为镀膜腔内持续均匀地提供水蒸气。并且，通过导气组件还可以调节水蒸气的流量，以实现对水蒸气量的精准控制，有助于提升镀膜质量。
来源：金融界
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