通美晶体申请清洗液槽更换装置专利，实现清洗液浓度一致性
创始人
2024-01-19 14:44:09
金融界2024年1月19日消息，据国家知识产权局公告，北京通美晶体技术股份有限公司申请一项名为“一种清洗液槽更换清洗液装置及方法“，公开号CN117415083A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种清洗液槽更换清洗液装置及方法，属于半导体晶片清洗技术领域，包括：顶部开口的清洗液槽，清洗液槽具有排液口、清洗液循环出口和清洗液循环入口；排液口连接有排液管路，排液管路上设置有第一阀门；热交换器，热交换器的进口通过清洗液循环管路前段与清洗液循环出口连通，热交换器的出口通过清洗液循环管路后段与清洗液循环入口连通；清洗液循环管路前段上设置有循环泵；清洗液循环管路前段设置有第二阀门；过滤器，设置在清洗液循环管路后段上；洁净氮气管路；洁净氮气管路上设置有第三阀门。本发明使用洁净氮气吹扫出循环管路中的残留液体，避免新加入的清洗液被循环管路中残留液体污染，使清洗液浓度与加入时保持一致。
来源：金融界
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